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sinoma可以根据客户需求生产1100×1100×550mm以下各种规格的石英陶瓷坩埚系列产品，现有尺寸规格如下：
石英陶瓷坩埚产品规格
规格(方形) 尺寸（mm） 规格(方形) 尺寸（mm）
1100 1050*1050*550 900 878*878*480
900 878*878*420 720 720*720*420
585 585*585*420 440 440*440*350
240 240*240*350 220 220*220*95
规格(圆形) 尺寸（mm） 规格(圆形) 尺寸（mm）
610 Φ610*420 100 Φ100*300
 
石英陶瓷坩埚理化性能指标
项 目 指标值
最高使用温度（°C） 1650
体积密度 ≥1.78
显气孔率(%) ≤15
常温耐压强度(MPa) ≥50
常温抗折强度(MPa) ≥20
导热系数(W/m·k) (RT~1000°C) 0.6~1.7
热膨胀系数(℃-1)(RT~1000℃) ≤0.9×10-6
结晶度(vol%) ≤1
 
石英陶瓷坩埚化学成分
组 成 单 位 典型值
wt% 99.9
Al 429
Ti 5.9
Fe 10.7
Ca 21.2
Mg 10
Na 19.5
K 13.3
Zr 0.5
Ba 1.3
Cu 0.1
Mn 0.3
Li 1.1
P 0.2
B 0.1
1100型坩埚 Φ610型圆坩埚 240型坩埚 多晶硅还原炉电极隔热罩



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